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激光干涉仪在精密制造领域是不可或缺的测量仪器，例如在精密机床、自动化设备、机器人、直线电机等行业都可以看见它的身影。随着工业技术的不断更新迭代，精密加工对激光干涉仪的需求也越来越大，激光干涉仪生产企业需要不断的对产品进行完善升级，以满足用户多样性的技术要求和使用时的易操作性。 在以往的客户使用激光干涉仪进行测量、校准时，很多人会有一个疑惑：激光干涉仪在测量过程中为什么要越程量？今天就为大家讲解一下越程量的用意。
以测量位移平台的线性定位精度为例，在位移平台旁边架设激光干涉仪，在平台上放置分光镜和反射镜，调整激光器和镜组的位置，使出射光和入射光的光斑重合，激光器前排的三个指示灯显示绿色，在电脑测量软件上设置第一定位点、最终定位点、间距值、目标数、测量次数以及越程量大小等数值，点击“开始”按钮进行测量。
软件记录第一个定位点数值为0，然后到达下一个定位点时停止运动，记录完数值继续向前运动，直到记录完最终定位点数值后，此时位移平台需要继续往前位移到设置好的越程量数值，比如最终定位点为21mm，那么加上越程量以后是21.081mm，此时再测量返程定位点的数值，当位移到21mm定位点时再次停止运动，测量软件记录下数值后，继续位移测量回程定位点的数值，直到记录完第一定位点数值后停止位移，测量软件同步计算出在测量范围内，平台线性位移产生的误差，测量结果以数据表格、趋势图、分析曲线、三合曲线、环境曲线的形式展现，让操作人员对测量结果一目了然。
由此可见，激光干涉仪在测量回程定位点时，需要越程量位移一段距离，即可保证在测量回程的第一点（最终定位点）数值时，为绝对数值，从而保证了测量全程的精确度。
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发表于 2019-4-22 17:57:08
