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微细加工与装备技术进展

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发表于 2013-6-3 18:08:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

微细加工与装备技术进展

摘要讨论微细加工与装备技术现状,介绍刻蚀技术、LIGA技术和准LIGA技术、微细特种加工等典型的微细加工工艺原理与技术特点,并指出各种加工方法的优缺点,分析微细加工技术的发展走向及装备技术的发展趋势。

关键词:微细加工装备发展趋势

微细加工与装备技术进展.rar(174.59KB)
链接: http://pan.baidu.com/s/1csTeiy 密码: 4sb3

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