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纳米级精细线条图形的微细加工

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发表于 2013-6-4 10:20:02 | 显示全部楼层 |阅读模式
纳米级精细线条图形的微细加工

摘要:对分辨率极高的电子束光刻技术和高选择比、高各向异性度的ICP刻蚀技术进行了研究,形成一套以负性化学放大胶SAL-601为电子抗蚀剂的电子束光刻及ICP刻蚀的优化工艺参数,
并利用这些优化参数结合电子束邻近效应校正等技术制备出剖面形貌较为清晰的30nm精细线条图形.

关键词:微细加工;电子束光刻;邻近效应校正;ICP刻蚀


纳米级精细线条图形的微细加工.rar(301.36KB)
链接: http://pan.baidu.com/s/1i5k7qWP 密码: yke4
扫扫地,从基础做起
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