微细加工技术在国内外发展趋势的研究

扫地僧

微细加工技术在国内外发展趋势的研究

摘要：研究了国内外微细加工技术的发展状况，基于!"!#器件的微细加工技术，提出了在低电位、微电流密度下电化学钝化效应基础上，用高频振动效应消除钝化，用与高频振动同频同步的窄脉冲电流电解作用去除机体材料，实现电解复合微细加工，这是微细加工技术的新构想及发展趋势。

关键词：器件 高频振动 窄脉冲电流 电解复合微细加工


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